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  • SPTS深硅刻蚀机/等离子刻蚀机
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SPTS深硅刻蚀机/等离子刻蚀机

    SPTS作为世界公认的深硅刻蚀和牺牲层刻蚀设备的供应商,SPTS能够提供一系列的解决方案来满足客户的生产和开发要求。通过一系列的技术的开发,SPTS能为客户提供一系列的先进的工艺,比如功率MOSFET和200mm和300mm晶圆上的高端封装(3D封装和芯片级封装)。
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