GAMRY RDE710 Gamry旋转环盘
SENTECH电感耦合等离子体ICP干法刻蚀系统 SI500
XeF2
SPTS 蒸发HF刻蚀 SPTS UEtch
德国SENTECH ICP等离子/ RIE反应离子刻蚀机
德国SUSS 紫外光刻机 MJB4
SUSS 手动掩模和粘结对准器 MA/BA6
KLA-Tencor Profiler 探针式台阶仪
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