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FS380-Pro半导体参数分析仪

    FS380-Pro系列较传统半导体参数测试系统,其测试速度高达10倍,业界首创AI测试加速卡,体验强大速度提升,同时保持测试精度
    科研领域,FS380-Pro™已被国内30多所大学及研究机构所采用,在先进器件和材料等领域的测试表现非常出色。它集 IV,CV 与 1/f noise测试于一体,高精度、低成本、综合的半导体器件表征分析能力灵活满足学术科研用户的不同测试需求,大大节省了测试设备采购开支。它是目前世界上唯一一款集成了所有常用低频特性测量于一体,在单台仪器内完成所有测试需求的半导体分析仪。
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产品简介:

FS380-Pro系列是业界唯一的人工智能驱动的一体化半导体参数测试系统,单台设备具备IV, CV 与 1/f noise 测试能力,内建的AI算法加速技术全面提升测试效率。业界低频噪声测试黄金系统9812DX和FS380-Pro 的融合使两个产品不但功能更加完整,性能也都有大幅提升。

FS380-Pro可广泛应用于半导体典型器件、LED材料、二维器件、金属材料、新型先进材料与器件测试。FS380-Pro可支持达上百个通道。内置测量软件提供数百个预定义的测试模板和功能,实现即插即用体验。
基于在产线测试与科研应用方面的优异表现,FS380-Pro不仅被多家全球领先的设计公司和半导体代工厂,IDM和设计公司采用,在学术界也受到广泛认可,已被数十所大学及研究机构所采用。

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产品优势

一体化: 业界首个集成IV测试、CV测试、低频噪音(1/f noise)于单台仪器中,无需换线和更新连接即可完成全部低频参数化表征。
超快速:FS380-Pro系列较传统半导体参数测试系统,其测试速度高达10倍,业界首创AI测试加速卡,体验强大速度提升,同时保持测试精度。
模块化架构:PXI模块化架构,可轻松扩展支持生产测试(如 WAT),辅以其高速和完整特性,可以大幅加速量产测试。
操作便捷:内置测量控制软件LabExpress™,拥有直观的用户图形界面,仅需点击几下鼠标就可以完成强大的器件特性分析功能。可选工业级测试软件FastLab, 支持自动探针台,第三方仪器和SRAM,可靠性测试等工业测试需求。
宽量程:高达200V,1A(脉冲3A),0.1fA的灵敏度。
建模仿真:可选内置器件建模与仿真软件(BSIMProPlus/MeQLab/NanoSpice),形成测试,建模仿真系统。


产品应用

可应用于半导体典型器件、LED材料、二维器件、金属材料、新型先进材料与器件测试。FS-Pro可支持达上百个通道。内置测量软件提供数百个预定义的测试模板和功能,实现即插即用体验。
IV电流电压测试。
CV电容电压测试。
1/f noise低频噪音测试。
Pulse脉冲生成。

高采样率的IV-T模式。

 

产品指标

IV电流电压测试
高精度参数测量 ,最大电压200V, 分辨率0.1fA,电流测量精度30fA,最大直流电流1A,脉冲电流3A。

高采样率的IV-T模式

FS380-Pro的SMUI-T采样率指标,最小设定1e-6s1us),数据存储达10万个点,目前在业界已经验证,在SMU的指标中是最高的。
CV电容电压测试
内建CV频率范围10Hz~10kHz,最小可测电容20fF,直流偏置电压200V。外置LCR提供高精度(10fF@2MHz,内建直流偏置40V)和高带宽(8MHz)两个选项,同时软件支持第三方工业主流LCR,如E4980A,428x系列等。
1/f noise低频噪音测试 
带宽:0.001Hz-100KHz 
噪音分辨率: 2e-28A2/Hz 
测量速度: <10秒钟/偏置(f>0.5Hz)
DUT最小阻抗:500欧姆 
DUT最大直流偏置和电流:200V, 1A 
Pulse脉冲生成功能 
电压范围±200V, 最小脉宽50us,最小分辨率100nV

 

 

FS380-Pro支持与MPI、Cascade厂家的半自动,全自动探针台连用,已于国内外大型半导体厂、科研院所等有着广泛的合作


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